MEMS、センサー、アクチュエーター

ダウでは、お客様の設計ニーズに最適なシリコーンソリューションをご提案します。液体およびフィルム状のダイアタッチ、封止・コーティング材料、導電、放熱、光学材料、ジェットディスペンス対応製品など、幅広い製品群を取り揃えています。

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代表的なMEMS、センサー、アクチュエーター向けシリコーン製品

ダイアタッチ材

成長するMEMS、センサー、アクチュエーター市場

MEMSセンサー向けシリコーン製品群 | シリコーンの有用性 | ジェットディスペンス用シリコーン | お問い合わせ

MEMS（微小電気機械システム）、センサー、アクチュエーターは、コンシューマー向け製品や車載システムなど、さまざまなモノになくてはならない基幹技術になっています。スマートフォン、タブレット、またはスマートウォッチなど、これらに搭載されるMEMS、センサー、アクチュエーターは、設計の性能を向上させると同時に、ユーザーにより安全なデバイスをもたらします。また、自動車用途においては、電子制御システムの性能を向上させ、運用コストを削減し、顧客の安全性を向上させることができます。

お客様が次世代の電子機器、モジュール、システムなどを開発の際には、是非、ダウが提供するMEMS、センサー、アクチュエーター向けシリコーンソリューションをご検討ください。最新のジェットディスペンスなど、お客様のプロセスに関して知見のあるエキスパートがご対応します。

MEMS用シリコーンセレクションガイド
MEMS、センサー、アクチュエーター用シリコーン製品、特徴や有機材料との比較、用途例をご紹介します。

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MEMS、センサー、アクチュエーター向けシリコーン製品の紹介

DOWSIL™ シリコーンホットメルトフィルム

液状シリコーンと比較し、シリコーンホットメルトフィルムの特徴や利点（接着性、ギャップフィル性、応力緩和性）をご紹介します。

展開前MEMS向けシリコーン製品（ダイアタッチ、ダイアタッチフィルム、ポッティング、ゲル、リッドシール、EMIシールディング、封止材、グローブトップ）

展開後MEMS向けシリコーン製品（ダイアタッチ、ダイアタッチフィルム、ポッティング、ゲル、リッドシール、EMIシールディング、封止材、グローブトップ）

製品名	製品の特長	粘度 [mPa.s]	弾性率 [MPa]	硬さ	せん断接着強さ(Si) [MPa]
ME-2010	高モジュラス透過性	23,000	-	D 57	8.2
ME-1190	ジェットディスペンス対応高モジュラス	3,500	370	D 59	7.4
ME-1180	ジェットディスペンス対応応力緩和性	5,600	23.4	A 81	5.5
ME-1070	高チクソ高接着	37,000	12.2	A 74	11
7920-LV	ジェットディスペンス対応高接着	22,000	7.2	A 68	9.0
ME-1140	ジェットディスペンス対応良好な応力緩和性	5,400	2.1	A 39	3.8
ME-1030	優れた応力緩和性低分子シロキサン極限カット	14,000	1.7	A 28	0.8
ME-1800	導電放熱	150,000	370	A 81	3.9

封止材 - ポッティング用ゲル

製品名	製品の特長	外観・色	粘度 [mPa.s]	弾性率 [MPa]	硬さ
ME-4200	優れた耐寒性 (-60℃まで安定な弾性率)	クリア	3,700	-	(Gel)
ME-4201	優れた耐寒性 (-60℃まで安定な弾性率)	クリア	4,400	0.07	(Gel)
ME-44xx	溶剤耐性良好な流れ性	クリア黒色	1,100	-	(Gel)
X3-6211	UV 硬化タイプ	クリア	900	-	(Gel)
3-6371	UV + 湿気硬化併用タイプ	クリア	900	-	(Gel)

封止材 – グローブトップ、ワイヤー封止用エラストマー

製品名	製品の特長	外観・色	粘度 [mPa.s]	弾性率 [MPa]	硬さ
ME-4120	ジェットディスペンス対応優れた応力緩和性	クリア黒色	3,400	0.9	A 17
ME-4139	高チクソ（グローブトップ用）優れた応力緩和性	黒色	45,000	-	A 28
ME-4320	優れた耐寒性 (-60℃まで安定な弾性率)	クリア	7,700	0.8	A 22
ME-6820	良好な応力緩和性高接着	黒色	6,000	1.6	A 50
ME-1140	ジェットディスペンス対応良好な応力緩和性	クリア黒	5,400	2.1	A 39
7920-LV	ジェットディスペンス対応高接着	黒	22,000	7.2	A 68
ME-1180	ジェットディスペンス対応応力緩和性	クリア黒	5,600	23.4	A 81

ここに報告されているデータは、弊社標準の検査方法とは異なる方法で提供されているため、必ずしも製品特性表やテクニカルデータシートのデータと一致するとは限りません。

当社のMEMS用シリコーン製品に関するお問い合わせ・サンプル依頼はこちら

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シリコーンの有用性

有機材料と比較してダウのシリコーンは、幅広い温度範囲において安定した柔らかさと応力緩和性が維持できるので、センシング精度の向上を可能にします。特に低温領域において、材料が硬くなることによる剥離やクラックのリスクを低減します。シリコーンの優れた耐熱性、低吸湿性、耐薬品性により、「オープンパッケージ」タイプのセンサーを外部環境から保護することが可能です。

MEMS用シリコーン製品の特長　

お客様のニーズ	ダウのMEMS用シリコーン製品の特長
応力緩和特性	低モジュラス特性（0.1～100MPa）
良好な温度特性	幅広い温度で安定なモジュラス特性（-40 ～ +260℃）
保護性能	良好な絶縁性と物理特性
高信頼性	優れた耐熱・耐候性、熱応力特性、ブリード低減品
微細化	ジェットディスペンス用製品
生産性向上	塗布厚管理を容易にするレオロジー特性の最適化

有機材料とシリコーンの熱応力特性比較

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非接触、高精細、微小塗布を可能にするジェットディスペンサーに対応可能なシリコーン製品

一般的なシリコーン製品は、高粘度タイプだとディスペンス時の糸引き、詰まりが発生しやすく、また低粘度タイプでは、ディスペンス後に液滴が広がりやすく、ファインラインや微細塗布が難しいとされてきました。ダウではジェットディスペンスにおける材料のレオロジー特性に着目し、DOWSIL™ ME-11XXシリーズを開発しました。良好なジェットディスペンス性を実現し、着弾後の液滴の広がりを抑え、ファインラインや微細塗布が可能となっています。